卷对卷式CVD化学气相沉积系统

电源：AC220V/50HZ

总功率：5KW

石英炉管：Φ100×1400mm

· 采用收放卷机构进行铜箔的移动进出料，卷筒线速度约6mm/min~400mm/min。

  （线速度的下限值受转筒直径的影响，如转筒直径为40mm，最小线速度为6mm/min，如转筒直径为80mm，最小线速度为12mm/min）。

· 收放卷机构分别放置于管式炉两端真空腔体内，保证铜箔可在密封生长条件下进行运动，实现大规模制备。

· 带有张力传感器，实时检测铜箔收紧的压力。张力上限值：1200g，张力下限值：100g，偏差值：-150~200g

· 设定的张力与波动范围（数值仅供参考）

放料仓：

· 含有两个φ150mm的观察窗口

· 背面设有一个KF40的接口连接了一个陶封电极

· 背面的一个φ6.35的卡套接头作为进气口使用，一个不锈钢针阀控制进气的通断，一个减压阀安装在进气口处

· 安装了一个机械压力表用于观察炉管内的压力，压力表范围-0.1-0.15MPa。一个φ6.35的卡套接头作为备用进、出气口使用，一个不锈钢针阀控制气体的通断

收料仓：

· 含有两个φ150mm的观察窗口

· 背面设有一个KF40的接口和一个LF100的接口，KF40接口与真空机组相连。

·  一个φ6.35的卡套接头作为出气口使用，一个不锈钢针阀控制出气的通断

· 腔体顶部的一个KF16的接口可选配安装数显真空计

控制系统：

· 卷收放卷机构的速度、张力等参数均可在触摸屏上设置

· 电源：AC220V/50HZ

· 功率：5KW

· 加热区长度：600mm（150mm+300mm+150mm）

· 最高温度：1200℃（≤1h）

· 工作温度：1100℃

· 热电偶：K型

· 加热元件：电阻丝

温控系统：

· 设备的升温程序可在触摸屏内设置，该系统采用高分辨率触感灵敏的电容屏作为操作界面，简单易懂的大界面操作系统综合显示多温区状态

· 一键启动/停止多温区，带有自动记录（记录1个月）和预设升温曲线功能

· 设备包含三个858P温度控制器，可设置50段升降温程序，PID方式调节温度，控温精度±1℃，带有温度上限报警功能。

· 可预存5条自定义配方工艺随时调用，拥有usb 接口可读取记录曲线，网线接口可使用PC远程控制。界面带有设备操作说明随时查看该设备使用方式

· 所有的电气元件都通过UL或MET认可，并可通过世界范围内的其他相关安全测试

· 型号：GSL-4Z-LCD（可选配其他型号）

· 质量流量控制器：100SCCM、200SCCM、200SCCM、500SCCM

· 量程可以选配

· 精度：±1.5%FS

· 最大压力0.3MPa

· 内部连接1/4英寸不锈钢和聚四氟管

· 内置不锈钢混气罐

· 型号：PGC-554-LD

· 电源：DC24V

· 测量范围：3.8E-5 to 1125 Torr

· 型号：VRD-24

· 抽气速率：6.6 L/S

· 电机功率：1100 W

· 极限压强：4×10^-1Pa（不带负载）

· 腔体实际压强：≤3.0Pa（带上炉管和密封法兰，冷态下机械泵抽30分钟）

           ≤1.0Pa（带上炉管和密封法兰，冷态下分子泵抽30分钟）

2400长*600宽*1400mm高

约330KG

一年质保期，终生维护

· 特别提示：

1、耗材部分如加热元件、石英管、样品坩埚等不包含在内

    2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内