1500℃三温区双通道混气低真空 CVD系统TP-1500-T3Z2D(一体 机)

1、高效率: 采用CVD气相沉积技术，可以在短时间内实现高质量的薄膜沉积，

2、精准控制:通过调节气体流量、温度、压力等参数，可以实现对沉积速度和沉积厚度的精准控制

3、可定制性:可根据客户需求，定制不同的沉积模板和沉积条件，以满足不同材料的制备要求

4、操作简便:自动化控制系统和友好的人机界面，使得操作更加简单方便

设备功率：380V   8KW

炉膛材质：高纯氧化铝纤维材料

加热元件：硅碳棒（14根）

可达温度：1500℃（<1小时）

连续温度：1450℃（连续）

温度精度：±1℃

热电偶:S型热电偶（3根）

可达加热速率：0-1000℃≤10℃/分钟，   1000-1400℃≤5℃/分钟

加热区尺寸：Φ110mm*150mm+230mm+150

标配Φ60*1200mm高纯刚玉管一根，可选配Φ50/Φ80/Φ100*1200mm的石英管

标配一套不锈钢密封法兰;采用硅胶密封圈密封,包含铠装测温接口（Φ8m）漏率达5X10^-9 Pam3/s；

采用带有减震油的机械压力表，使压力波动时产生阻尼，减小指针来回摆动

选配KF25或KF40接头

真空度：采用机械泵组可达到5*10^-1Pa（标配）

抽速m/h(L/s)：4(1.1)

极限分压强-无气镇（Pa）：5×10^-2

进排气连接口DN(mm）：KF25

用油量（L)：0.6L

压阻皮拉尼复合型规管：

测量范围：1.0×10^-2～1.067×10⁵Pa

测量精度：1.0*10³Pa ~1.067*10⁵ Pa   ±0.15%的满量程

1.0×10^-1～1.0×10²Pa   ±10%的读数

高真空手动挡板阀：KD25

波纹管：KF25*800

油雾过滤器：KF25

卡箍及链接管件(焊接）：采用KF25全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1×10^-9Pa.m3/s

设备含两路质量流量控制器（50、100、200、500Sccm可选）

压差范围：0.05-0.4MPa

精度：±1% FS

重复精度：±0.2% FS

接口尺寸：Φ6.35mm双卡套接头

连接管道：采用洁净抛光的气路专用耐腐不锈钢管

接口尺寸：6.35mm双卡套连接

金属管路：材质：SUS316 φ外：6.35mm φ内：4mm

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1.耗材部分如加热元件，炉管，样品坩埚等不包含在内。

                 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。