1700℃三温区双通道混气低真空 CVD系统TP-1700-T3Z2D(一体机)

高效率: 采用CVD气相沉积技术，可以在短时间内实现高质量的薄膜沉积；

精准控制:通过调节气体流量、温度、压力等参数，可以实现对沉积速度和沉积厚度的精准控制；

可定制性:可根据客户需求，定制不同的沉积模板和沉积条件，以满足不同材料的制备要求

操作简便:自动化控制系统和友好的人机界面，使得操作更加简单方便

加热系统

设备功率：380V   10KW

炉膛材质：高纯氧化铝纤维材料

加热元件：硅钼棒(14根）

可达温度：1700℃（<1小时）

连续温度：1550℃（连续）

温度精度：±1℃

热电偶:B型热电偶（3根）

推荐升温速率：0-1000℃≤10℃/分钟，   1000-1400℃≤5℃/分钟   1400-1650℃≤3℃/分钟

加热区尺寸：Φ110mm*（150+230+150mm）

炉管与法兰

标配Φ60*1000mm高纯刚玉管一根，可选配Φ50/Φ80/Φ100*1000mm的刚玉管

标配一套不锈钢密封法兰;采用硅胶密封圈密封,包含铠装测温接口（Φ8m）漏率达5X10^-9 Pam3/s；

采用带有减震油的机械压力表，使压力波动时产生阻尼，减小指针来回摆动

为了获得抽气速率可以选配KF25或KF40接头法兰

供气系统

设备含两路质量流量控制器（50、100、200、500Sccm可选）

压差范围：0.05-0.4MPa

精度：±1% FS

重复精度：±0.2% FS

接口尺寸：Φ6.35mm双卡套接头

连接管道：采用洁净抛光的气路专用耐腐不锈钢管

接口尺寸：6.35mm双卡套连接

·金属管路：材质：SUS316 φ外：6.35mm φ内：4mm

真空系统

真空度：采用机械泵组可达到5*10^-1Pa（标配）

抽速m/h(L/s)：4(1.1)

极限分压强-无气镇（Pa）：5×10^-2

进排气连接口DN(mm）：KF25

用油量（L)：0.6L

压阻皮拉尼复合型规管：

测量范围：1.0×10^-2～1.067×10⁵Pa

测量精度：1.0*10³Pa ~1.067*10⁵ Pa   ±0.15%的满量程

1.0×10^-1～1.0×10²Pa   ±10%的读数

高真空手动挡板阀：KD25

波纹管：KF25*800

油雾过滤器：KF25

卡箍及链接管件(焊接）：采用KF25全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1×10^-9Pa.m3/s

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1.耗材部分如加热元件，炉管，样品坩埚等不包含在内。

                   2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。