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1200℃小型流化床CVD炉（带1英寸外径石英管和法兰，用于粉末CVD） OP-1200-LTS-FB
OP-1200-LTS-FB是一款流化床立式管式炉，专门针对粉末表面沉积的CVD实验，炉管为高纯石英管，炉管内部嵌有一多孔石英板，石英板的孔径可订制范围为5-500um.粉末可放在多孔石英板上，气体可从炉管下端通入，通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域，进行沉积实验。
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| 特点 | • 采用双层壳体结构并带有风冷系统 • 炉体设计为开启式，以方便与更换炉管 • 设有石英管防护罩，放置石英管碎裂造成人员伤害 • 设有机械安全泄压阀，放置石英滤板堵塞造成压力过高造成人员伤害 • 采用高纯氧化铝作为炉膛材料，炉膛表面涂有美国进口高温氧化铝涂层可以提高加热效率和炉膛使用寿命 • 专门针对粉末表面沉积的CVD实验 | |
| 基本参数 | • 设备功率：220V 1.2KW • 炉膛材质：高纯氧化铝纤维材料 • 加热元件：HRE高温合金丝 • 可达温度：1200℃（<1小时） • 连续温度：1150℃（连续） • 温度精度：±1℃ • 热电偶:K型热电偶 • 可达加热速率：≤20℃/分钟 • 炉膛尺寸：80mm*200 • 加热区长度：200mm • 恒温区长度：100mm | |
| 炉管尺寸 | •炉管尺寸：Φ25mm*600mm • 炉管材料:采用高纯特质石英炉管 • 多孔石英板孔径：4-550μm多种规格可定制 | |
| 不锈钢密封系统 | 标配一套双硅胶密封圈密封不锈钢密封法兰总成,设有安全机械泄压阀及石英管防护罩。 | |
| 真空度 | 采用机械泵组可达到5*10-1Pa（选配），采用分子泵组可达到5*10-3Pa（选配） | |
| 控制系统 | 可预存15条温度曲线，避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦； | |
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嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，实验过程更加直观，操作更加便捷； | ||
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非线性式样温度修正； | ||
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具有预约启动功能（选配功能） | ||
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| 系统保护 | 具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。 | |
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| 外形尺寸 | 510*430*1000mm | |
| 净重 | 约35KG | |
| 质保 | 一年保修，终身技术支持。 特别提示：1.耗材部分如加热元件，热电偶，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 | |
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