1200℃流化床CVD(FBCVD)炉 OP-1200-LT3-FB
OP-1200-LT3-FB是一款三温区流化床CVD炉,最高工作温度为1200℃,额定功率为8KW。炉管可配置为25/50/60/80/100/130mm的石英管,石英管中焊接一个微孔石英板,实验时样品粉末放置于微孔石英板上。微孔石英板上的微孔尺寸15~40um,允许调节气流通过微孔石英板,使粉末在炉体加热区域悬浮起来,粉末和反应气体发生反应或沉积。炉管两端配有不锈钢法兰密封总成。此款设备用于粉末CVD实验(FBCVD)。触屏温控系统可设定储存15个30段升温和降温工艺曲线,其控温精度达到±1℃。主要应用于高温流化床、真空烧结、气氛保护烧结、真空镀膜、CVD粉体实验、物质成分测量及等场合。
技术资料
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特点 | 1、采用双层壳体结构并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于60℃ 2、采用真空成型工艺制作的耐火保温材料,热损耗小,有效地降低了设备的使用功率; 3、加热区设计为侧方开启式,以方便与更换炉管; 4、触摸屏操作,直观显示温度曲线; 5、具有全程非线性温度修正; 6、具有预约启动功能,节约烧结时间(选配功能); 7、多温区管式炉可有效设置实验温度梯度和偏差,也可设置相同目标温度从而保证温场均匀性(根据实际要求请联系我们) |
基本参数 | 设备功率:220V 8KW(2KW+4KW+2KW) 炉膛材质:高纯氧化铝纤维材料+氧化铝涂层 可达温度:1200℃(<1小时) 连续温度:1150℃(连续) 温度精度:±1℃ 热电偶:K型热电偶 可达加热速率:≤20℃/分钟 炉膛尺寸:150mm*(220mm+440mm+220mm) |
炉管尺寸 | 以下几种尺寸的高纯度石英管可选: 炉管尺寸:Φ25/50/60/80/100/130*1400mm 如应用粉体高温流化床使用,需非标定制带有滤板的专用石英管 微孔石英板:多孔: 15~40 um, |
加热区 | 加热区长度:加热区长度:200mm+400mm+200mm |
加热元件 | HRE高温合金丝(表面涂有涂层,可以极大程度延长使用寿命) |
温控系统 | 1. 可预存15条温度曲线,避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦; 2.嵌入式操作系统中英文互换图形界面,7寸真彩触屏输入,智能式人机对话模式,实验过程更加直观,操作更加便捷; 3.非线性式样温度修正;具有预约启动功能。 4具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。 |
密封法兰 | 密封法兰:标配一套不锈钢密封法兰;采用硅胶密封圈密封,包含铠装测温接口Φ8mm; 采用带有减震的机械压力表,使压力波动时产生阻尼,减小指针来回摆动。 气体流动方向:下进上出 标配含一个浮子流量计用来控制进入气体流量,如需精度更高可选配质量流量控制器。 |
真空度 | 采用机械泵组可达到5*10-1Pa(选配),采用分子泵组可达到5*10-3Pa(选配) |
净重 | 约185kg |
质保期 | 一年保修,终身技术支持。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围。 |
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