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200W 等离子射频模块PE-200W
500W 等离子射频模块PE-500W
1200℃ 三温区PECVD等离子体化学气相 沉积系统 OP-1200-TS3-Z4D-PE
1200℃ PECVD等离子体化学气相 沉积系统 OP-1200-TS-Z4D-PE
PECVD系统（集成气化装置）
1500C 500W 高温等离子体化学 气相沉积系统OP-1500-TZ3D-PE
