1500℃ 12L 气氛箱式炉 MP-1500-PVA-X2

100L/S高速分子泵组 PR-P103(A)

PECVD系统（集成气化装置）

1200C双温区多通道高真空组合 式CVD系统OP-1200-T2ZG

1200℃双温区多通道低真空组合 式CVD系统OP-1200-T2ZD

1200℃双温区双通道混气低真空 CVD系统OP-1200-T2Z2D(一体 机)

100mm 电动辊轧机 PR-MR-100A

1200℃ 36L 真空气氛箱式炉 MP-1200-PVA (36L)

1500℃ 14.5L 台式箱式炉 MP-1500-X3

1200℃ 7.2L 台式箱式炉 MP-1200-X2

700L/S高速无油分子泵组 PR-P103(C)

1200℃17L 井式坩埚炉GP-1200-T (17)

1200℃ 大口径智能型管式炉 TP-1200-T （900mm）

1200℃ 三温区旋转摆振管式炉 OP-1200-T3-R（200+200+200）

1700℃ 14.5L 智能型气氛箱式炉MP-1700-PVA(PLC)

1200℃智能开启式五温区管式炉OP-1200-T5（加热区150*5）

1200℃ 126L 下装载炉 BP-1200-T-126L

1500℃ 14.5L 智能气氛箱式炉 MP-1500-PVA(PLC)

600L/S高速分子泵组 PR-P103(B)

1500C 500W 高温等离子体化学 气相沉积系统OP-1500-TZ3D-PE