1700℃ 双温区旋转摆振管式炉 ROP-1700-T2（280+280）

1500℃ 双温区旋转摆振管式炉 ROP-1500-T2（320+320）

1200℃ 双温区旋转摆振管式炉 OP-1200-T2-R（200+200）

1750℃ 智能型加长单温区管式炉 TP-1750-T（530mm)

1700℃ 智能型加长单温区管式炉 TP-1700-T（530mm)

1500℃ 智能型单温区管式炉 TP-1500-T（530mm)

1200℃智能开启式三温区管式炉OP-1200-T3（加热区220+440+220）

1200℃ 开启式加长温区管式炉 OP-1200-TL(900mm)

1200℃ 108L 下装载炉 BP-1200-T-108L

1500℃ 126L 下装载炉 BP-1500-T-126L

1500℃ 12L 气氛箱式炉 MP-1500-PVA-X2

100L/S高速分子泵组 PR-P103(A)

PECVD系统（集成气化装置）

1200C双温区多通道高真空组合 式CVD系统OP-1200-T2ZG

1200℃双温区多通道低真空组合 式CVD系统OP-1200-T2ZD

1200℃双温区双通道混气低真空 CVD系统OP-1200-T2Z2D(一体 机)

100mm 电动辊轧机 PR-MR-100A

1200℃ 36L 真空气氛箱式炉 MP-1200-PVA (36L)

1500℃ 14.5L 台式箱式炉 MP-1500-X3

1200℃ 7.2L 台式箱式炉 MP-1200-X2