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500℃ 300*300mm 电动真空平板热压机PR-VHP-300D
PR-VHP-300D是一款电动真空平板式真空热压机，针对于晶片的焊接或薄膜转移，其可处理最大样品尺寸为300mm*300mm*70mm。仪器最高工作温度为500℃，在此温度下可对样品施加的最大压力为30T。
技术资料
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基本参数 | · 电源：AC220V , 50Hz ，总功率：约3.5KW · 两块300mm *300mm加热平台，采用耐热模具钢制成，最高可承受温度为500℃ · 加热管布置在上下加热平台的内部，以达到快速加热的效果 · 两个精密的温控器独立控制两块加热平台，可设置5段升降温程序 |
上下加热平台和真空腔体 | · 上下加热平台都安装在真空腔体内，上下加热平台尺寸：300*300mm · 上下加热板平面度<0.02mm（在有效面积300mm*300mm范围内） · 真空腔体采用304不锈钢制作，并焊接有加强筋（防止真空状态下腔体变形），真空度可以达到10-1Pa。 · 可放入样品最大尺寸：300mm*300mm*70mm · 一个机械压力表安装在真空腔体上，用于观察腔室内真空度。预留的KF16接口可选择安装数显真空计 · 腔体侧面板设有一个φ6.35的卡套接头作为进气口使用，并通过一个球阀控制进气的通断 · 腔体侧面有一个φ8mm宝塔气嘴的出气口，通过一个球阀控制出气的通断 · 腔体侧面有一个KF25的抽真空接口，方便客户匹配各种型号的真空系统 |
温控系统 | · 两个精密的温控系统可设置5段升降温程序，控温精度为±1℃，500度恒温时的温度波动±5℃，分别独立控制两个加热平台。 · 温控系统采用PID方式进行温度调节，并带有过热和断偶保护。 · 最高工作温度为：500℃（<30 min） |
压力控制系统 | ·最大压力：30T ·加压方式：电动加压 ·压力精度:0.1吨 ·油缸直径为 Φ80 mm； ·油缸行程为 0-70 mm； |
真空系统（选配） | 可根据客户实验要求选配机械泵或分子泵组 |
外形尺寸 | ·550x650x850mm |
重量 | ·约480Kg |
质保 | · 一年质保期，终生维护 · 特别提示：耗材部分如加热元件、石英窗口等不包含在内因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 |
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