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500℃ 135*135mm 手动真空平板热压机PR-VHP-135
PR-VHP-135是一款手动真空平板式真空热压机，针对于晶片的焊接或薄膜转移，其可处理最大样品尺寸为135mm*135mm。仪器最高工作温度为500℃，在此温度下可对样品施加的最大压力为40T
技术资料
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基本参数 | · 电源：AC220V , 50Hz ，总功率：约2.4KW · 两块135mm *135mm加热平台，采用耐热模具钢制成，最高可承受温度为500℃ · 加热管布置在上下加热平台的内部，以达到快速加热的效果 · 两个精密的温控器独立控制两块加热平台，可设置30段升降温程序 |
上下加热平台和真空腔体 | · 上下加热平台都安装在真空腔体内，上下加热平台尺寸：135*135mm · 上下加热板平面度<0.03mm（在有效面积120mm*120mm范围内） · 真空腔体采用304不锈钢制作，并焊接有加强筋（防止真空状态下腔体变形），真空度可以达到10-1Pa。 · 内部腔体尺寸为：614mm(L) *574mm(W) *514mm(H) · 可放入样品最大尺寸：长*宽*高=150*150*30mm · 真空腔体前端有一直径为φ150mm的观察窗口
· 一个机械压力表安装在真空腔体上，用于观察腔室内真空度。预留的KF16接口可选择安装数显真空计 · 腔体左侧面板含有两个φ12的水管接头，用于连接水冷设备，一个φ6.35的卡套接头作为进气口使用，并通过一个球阀控制 进气的通断 · 腔体背面有两个φ8mm宝塔气嘴的出气口，并分别通过一个球阀控制出气的通断 · 腔体右侧面有一个KF25和一个KF40的抽真空接口，方便客户匹配各种型号的真空系统 |
温控系统 | · 两个精密的温控系统可设置30段升降温程序，控温精度为±1℃，500度恒温时的温度波动±10℃，,分别独立控制 两个加热平台。 · 温控系统采用PID方式进行温度调节，并带有过热和断偶保护。 · 最高工作温度为：500℃（<30 min） · 最快升温速率： 5℃/min · 软件和PC接口安装在控温仪表上，可将温度程序和温度曲线导入到电脑中（另购）。 |
压力控制系统 | ·最大压力：40T ·加压方式：手动加压 ·油缸直径为 Φ80 mm； ·油缸行程为 0-50 mm； |
水冷板系统 | ·两个水冷板分别设置在上下加热板上，在真空腔体内部采用不锈钢软管进行连接，腔体外部采用透明PVC水管连接水冷机。 |
真空系统 | 可根据客户实验要求选配机械泵或分子泵组 |
水冷设备（选配） | · 型号：CW-5000 · 工作电压：AC 220V 50HZ · 工作电流：1.4-2.1A，制冷量：2361Btu/h · 压缩机功率：300W，水箱容量：6L · 最大流量：16L/min，净重：24 Kg · 外形尺寸：550*280*430mm |
外形尺寸 | ·700mm(L) x800mm(W) x 1640mm(H) |
重量 | ·约510Kg |
质保 | · 一年质保期，终生维护 · 特别提示：耗材部分如加热元件、石英窗口等不包含在内因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 |
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