IMCS-2100-CZ小型直拉法晶体生长炉

真空腔体

·真空腔体采用304不锈钢制作

·真空腔体尺寸：Φ350×350mm

·腔体门上有一石英窗口（Φ120mm）,用于观察材料熔化，种籽晶和长晶过程

·一个KF25接口和一个KF40真空接口在腔体后端

·ISO160接口在腔体左侧，用于连接分子泵系统。

提拉机构

·提拉机构采用精密伺服电机驱动

·提拉速度：0.1-10mm/hr

·籽晶旋转速度：0.1-23RPM

·移动行程：0-150mm

·提拉机构可快速移动35mm/min

提拉法用籽晶杆组件

·设备标配一套籽晶夹紧夹具，可手动调节实现籽晶的夹紧。

·可用籽晶尺寸范围：0.5-4mm
·籽晶夹紧夹具材料：高温合金钢，使用温度：≤800℃（建议在真空或气氛保护下使用）

·设备标配一套坩埚组件，用于客户盛放物料

·坩埚尺寸：φ50*50 mm

真空或气氛

·真空腔体种可抽真空和通入惰性气氛

·设备中配有一个数显真空计，测量范围为10^-5 ~ 1000 torr

·真空度：6.7 x 10-3pa（采用分子泵系统）

            ＜100pa(采用机械泵）

·可在本公司选配各种真空泵，标配为机械泵

感应加热

·25KW（30-80KHz）高频感应电源

·感应线圈：Φ90mm*80mmH

·热场材质：石墨

·设备需要：116L/min的循环水冷机

控制面板

·嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，实验过程更加直观，操作更加便捷；

    可控制提拉速度，提拉行程，籽晶杆转速和工作温度

·可预存多条工艺曲线，避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦；

·非线性式样温度修正；

·无纸记录功能，实时记录实验数据

质保

整机一年保修，控制屏质保贰年，终身技术支持。

l 特别提示：1.耗材部分如加热元件，热电偶，样品坩埚等不包含在内。

             2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。