PR-GPM-3802自动研磨抛光机

PR-GPM-3802自动研磨抛光机是覆盖半导体材料，光电材料等应用领域的精密磨抛机。主要用于硅、碳化硅、氮化镓、锑化镓、磷化铟、砷化镓、碲锌镉、碲镉汞、铌酸锂等多种材料芯片的研磨减薄，底面、表面、端面的化学机械抛光等。本机体积小，节省实验室空间，操作简单，清理方便，适合初学人员的使用，尤其适用于各大高校的实验室、科研院所、及各企业的实验室的使用。

400-878-2836

技术资料

相关产品

产品名称	PR-GPM-3802自动研磨抛光机
产品特点	研磨抛光机独立可移动式触触摸操控系统；可实现晶片端面磨抛及特殊角度制备(需定制)；可存储工艺菜单；可选配多机联控选配功能；可选配增至3通道进料系统；适用于8英寸及以下尺寸样片；
主要参数	磨抛盘转速:10-150转/分钟磨抛盘直径:380mm 摆臂频率0-35RPM速度可调节摆臂角度0-25度可调摆臂数量:3工位试样装夹数量:3套试样规格:最大单个φ110mm(其他规格定制) 磨样时间:0-999min 加压方式:配重加压载样盘重量:3KG 存储工艺菜单:60条耗材安装方式:背胶粘接外形尺寸:≈550mm×600mm×750mm(长×宽×高) 主机重量:100Kg
标准配置	抛光垫：合成革/磨砂革/聚氨酯各1张载样盘：3套铸铁研磨盘：1个铝制抛光盘：1个进水管：1根排水管：1根
安装条件	本设备要求在海拔2000m以下，温度25℃±15℃，湿度35％～95％下使用。电：AC220V 50Hz，必须有良好接地。气：需要工作台：承重100KG 通风装置：不需要