浏览次数:152

1500℃六温区管式炉 OP-1500-T63ZΦ200

技术资料

相关产品

设备特点

  • 六温六控加热系统,温场分布更均匀;

  • 高纯硅碳棒加热,最高工作温度1380℃,可满足更多CVD领域需求;

  • 三路质量流量计(MFC)气体控制,同时设置有真空系统配合进出气系统使用,可以实现自动抽真空-补气循环流程,

    以最快的速度置换腔体内部的气氛;

  • 电动开盖系统,方便炉管的维护及更换;

  • 10英寸彩色触摸液晶屏,可以设定温度和气体流量曲线。无需后期的人为操作,操作方便性大大提升;

  • PLC自动化控制系统集成了设备上所有的控制,包含加热和各种动作都能够在屏幕上进行操作,并且能够跟随工艺曲线

    设置不同的进气和流量的设置,可以实现不同工艺下的快速组合,并且支持数据导出及预存和调用配方功能。

供电电源

三相380V 50HZ

控温精度

±1℃

额定功率

36KW

传感器类型

S型和K型热电偶(中间4个温区采用单铂铑热电偶,前后两个温区采用K型热电偶)

极限温度

1500℃

长期工作最高温度

1380℃

设备运行时外壳温度

<60℃

加热元件

高纯硅碳棒

温区尺寸

260*240*1430mm

气体分散装置

进气端加装分散装置

炉管材质

反应烧结碳化硅

推荐升温速率

≤3℃/min(注意:超过最大升温速率可能会导致炉管断裂)

炉管尺寸

内径φ18*10*2150mm

尾气吸收装置

加装尾气吸收装置。出气端口加尾气冷凝集成器

炉体外形尺寸

2500*1000*1420mm

开盖方式

电动开启 最大角度45度

控制系统

1、烧结工艺曲线设置:动态显示设置曲线,设备烧结可预存多条工艺曲线,每条工艺曲线可自由设置;

2、可预约烧结,实现无人值守烧结工艺曲线烧结;

3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据,并可导出实现无纸记录;

4、具有实现远程操控,实时观测设备状态;

5、温度校正:主控温度和试样温度的差值,烧结全程进行非线性修正。

混气系统三路质量流量控制器量程:两路15L(其中一路为氨气,做防腐处理),一路10L。

重量

约560KG

服务支持

1年质保,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件,例如石英制品和密封圈等)

操作软件可享受终身免费维护,升级。