ZM-1650-VIM区熔炉

设备特点

· 真空密封石英腔体，可真空或气氛保护下加热区熔样品

· 最高温度可达1650℃

· 感应线圈可移动（伺服电机驱动），移动行程300mm

感应电源

· 输入电压：AC380V， 三相，50Hz

· 最大输入功率：15KW，线圈匝数4匝

· 振荡频率：200-500KHz

工作温度

· 最高温度：1650℃（<1hr）

测温元件

· 红外测温仪或B型热偶（注意：当材料有挥发物时，避免对红外测温仪带来影响时，建议采用B型热偶控温。）

控制系统

可预存15条温度曲线，避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦；  

2.嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，实验过程更加直观，操作更加便捷参数：感应线圈位置，移动速度和行程，感应电源输出功率等

3.电流反馈模式：根据实际温度实测电流，将数据整合保存，并有效减少由于感应电流对测温元件的损伤；非线性式样温度修正；

4.具有超温报警、漏电保护等功能；具有预约启动功能。

炉管

· Φ50或60mm高纯石英管

坩埚尺寸

· 石墨坩埚Ф40×200mm（直径×高 ）嵌有BN内衬

法兰

· 当采用B型热偶控温：法兰上安装有不锈钢针阀，机械压力表和KF25真空接头；底部法兰上带有通气接口（Φ6.35mm）,一根热电偶穿过法兰接触坩埚，用于控制温度。

· 当采用红外测温仪：法兰上安装有不锈钢针阀，机械压力表和石英观察窗口；底部法兰上带有通气接口（Φ6.35mm）,和真空泵接口。

· 设有机械式安全泄压阀，当管内压力＞0.02Mpa时自动泄压。以防止发生安全事故

装样方式

· 下装载

线圈移动装置

· 线圈最大移动行程：300mm

· 采用伺服电机驱动

· 移动速度：0-200mm/h

· 慢速移动用于单晶生长：1-50mm/h

水冷机

需要水冷却对感应电源和感应线圈冷却水冷机

· 功率：2.25kW

· 工作电流：2.3~13.9A

· 制冷量：17401Btu/h

· 水箱容量：14L

· 出入水口：Rp1/2"

· 水流速度：75L/min

· 最大扬程：27M

真空度

可在本公司选购各种真空泵

· 标配：10Pa(采用双极旋片机械泵）

· 选配：10-3Pa(采用分子泵系统）

质保

一年质保期，终生维护

设备尺寸

1000mm*1650mm*770mm