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1200℃ RTP单温区快速退火炉 TP-1200-RTP
TP-1200-RTP滑动式快速退火炉是一款能够1200℃快速升温和降温的管式炉，其通过红外灯管加热达到快速升温的效果（极限升温速率> 500°C/S），通过炉体滑动来达到快速冷却效果（极限降温速率> 100°C/S） 。该炉子适用于半导体材料、纳米材料、金属材料等领域 。
技术资料
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产品特点 | 可以放入4英寸基片退火 推拉滑轨式法兰卡扣密封，方便快接放取样品 红外加热极速升温500℃/S，极速降温100℃/S 双层炉管结构，气氛与样品接触更均匀 直接测量样品表面温度，测温更精准 炉膛根据设置可自动左右移动，实现快速降温或更多的实验应用 丰富的扩展接口，能够满足各类试验的需求 可以保护气氛环境下冷却 | |
加热系统 | 输入电源 AC 380V 50HZ， 功率：15KW 极限工作温度：1200℃（＜30min)，长期工作温度：1100℃ 控温热电偶：S型热电偶，紧贴在ALN片样品台下（ALN片为标配，可按照客户要求定制不同材质基片） 加热元件：红外灯管 6根短波红外灯管，每根2.5KW 加热区尺寸：Ф170mm*200mm 石英管：Ф110*380mm | |
不锈钢密封法兰系统 | 水冷密封法兰，密封法兰和腔体法兰之间采用硅胶O型圈密封方式。 右端法兰装有机械压力表和进气截止阀，预留KF真空接口，石英观察窗口。 右端法兰内侧有石英制隔热堵头和样品支架，热电偶测温点位于样品正下方 右·端法兰安装在滑轨上可以直接推拉，实现快速放取样品。 | |
控制系统 | 可预存15条温度曲线，避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦； | |
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嵌入式操作系统、中英文互换图形界面、7寸真彩触屏输入、智能式人机对话模式、实验过程更加直观，操作更加便捷。 | ||
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非线性式样温度修正；具有预约启动功能。 | ||
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具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。 | ||
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水冷机（选配） | 型号：CW-5000 工作电压：AC 220V 50HZ 工作电流：1.4-2.1A，制冷量：2361Btu/h 压缩机功率：300W 水箱容量：6L 流量：16L/min 净重：24 Kg | |
真空系统（选配） | 配套机械泵，真空度可以达到10-2Pa 配套分子泵，真空度可以达到10-4Pa | |
产品尺寸 | 约800*540*750mm | |
重量 | 约100kg | |
保质期 | 1年（不包含炉管，氟胶O型圈和加热元件等损耗件） | |
