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大口径均温扩散炉
大口径智能型管式炉是专门为大工件或批量热处理生产而研发制造的，主要用于LED荧光粉、衬底材料、电池材料生产等行业。炉管选用大口径的高纯石英材质，既可通气氛也可抽真空使用，采用智能PID模糊控制、多点测温保证炉膛内温度的均匀性。
技术资料
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| 特点 | 温场均匀，恒温区长度及精度：300～1250mm 800~1200℃±1℃ 具有强大的软件功能,嵌入式操作系统,用户可以方便地修改工艺控制参数,并可随时显示各种工艺状态;配有故障自诊断软件; 程序可以实现手/自动工作,在停电或中途停机后,再次启动可以根据工艺手动升温,节省工艺时间； 具有多种工艺管路,可供用户方便选择; 冷端检测环境温度进行温度补偿,避免环境温度变化,对炉膛温度产生影响,避免层间干扰; 可存储多组PID参数供系统运行调用功能,具有多点温度补偿; 气体流量采用数字化精确控制,采用模拟信号闭环控制,强弱电分开,各种数据交互采用标准总线,提高抗干扰能力,保证数据安全; 气体打开具有缓启动功能; 具有多种报警功能及安全保护功能; 恒温区自动调整,串级控制,可准确控制反应管的实际工艺温度; 压力自动调整技术,将压力参数引入晶体硅氧化工艺,有效减小了尾部排风对工艺的干扰,减小由排风引起的工艺波动. | |
| 基本参数 | 设备功率：380V 炉膛材质：高纯氧化铝纤维材料+氧化铝涂层 加热元件：KANTHAL及HRE高温合金丝 可达温度：300~1150 ℃ 温度精度：±1℃ 热电偶:K型热电偶 可达加热速率：升温速率：≦15℃/min 降温速率≦5℃/min 炉膛尺寸：150mm*440 温区数量：3区，4区，5区，6区（依客户要求定制） 恒温区长度：300～1250mm（依客户要求定制） 温场精度： 300~800 ℃±1.5℃, 800~1100 ℃±1℃ | |
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| 炉管尺寸 | 可配炉管外径：炉管外径152mm 适用于3＂；炉管外径252mm 适用于6＂；炉管外径300mm 适用于8＂ | |
| 冷却系统 | 水冷2-4Kgf/cm2，8L/min+上接排风冷≈25m3/min | |
| 不锈钢密封系统 | 标配一套折页式不锈钢密封法兰总成，法兰一端设有铠装测温口。 | |
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| 真空度 | 采用机械泵组可达到5*10-1Pa（选配），采用分子泵组可达到5*10-3Pa（选配） | |
| 控制系统 | 可预存15条温度曲线，避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦； | |
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嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，实验过程更加直观，操作更加便捷； | ||
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非线性式样温度修正；具有预约启动功能 | ||
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| 系统保护 | 具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。 | |
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| 外形尺寸 | 根据具体技术要求定制 | |
| 质保 | 一年保修，终身技术支持。 特别提示：1.耗材部分如加热元件，热电偶，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 | |
