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设备简介

PLJ13离子溅射仪为扫描电镜制作样品而设计,结构简单、操作使用直观方便等特点。不需要很高的真空度就可以对扫描电镜样品进行离子溅射,可作为扫描电镜样品镀膜的基本设备。


设备特点

1.采用4C静音真空泵,各方面降噪,提升实验感受;

2.标配样品室真空表和溅射电流表,实时显示和监控仪器状态;

3.边缘橡胶密封圈,长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象。

4.配置溅射电流控制器和微型真空气阀。结合自动控制电路,轻松控制真空室压强、电离电流,并可任意选择所需电离气体,以获得很好的镀膜效果;

5.标配Φ58mm x 0.12mm 大尺寸纯金靶,溅射范围更大;


溅射速度

一般来说,用于扫描样品时金属的厚度为100-300Å,采用经验法测定厚度,可由下面的公式得到d = KIVT‘其中: d:是镀膜厚度(单位Å),K:是常数,取决于溅射金属和所充气体(采用金靶和氩气时K为0.17,金靶和空气K为0.07),此时靶与样品之间的距离I: 是等离子流(单位mA)

V:是所施电压(单位kv),T”是时间(单位s)。


例如采用金靶和氩气,l为8mA,T为100秒,V为1KV,则, d = KIVT = 0. 17×8×l×100 = 136Å

即每秒1.36Å,溅射速度依赖于溅射系统本身的清洁程度,因此保护工作室的清洁十分重要。


其它金属靶的溅射速度,例如铂靶大约是金靶一半的速度,金一铂靶则具有与金靶非常接近的溅射速度。


注意事项

1.靶材的更换

先拔下溅射盖板上高压和地线插头,拿下溅射盖板,松开三只顶丝,拿下保护板,然后拧下压环就可以更换新靶。

2.真空工作室清洗

腔体工作室用无水乙醇、丙酮清洗,以保证系统能正常工作。

3、针阀使用

针阀关闭后再反向拧两圈,以防止针阀长时间不用出现阀针回弹不灵活的现象。如遇到打开针阀时不向工作室放气,请将针阀钮拧到底后再重新打开即可。