大口径智能型管式炉是专门为大工件或批量热处理生产而研发制造的，主要用于LED荧光粉、衬底材料、电池材料生产等行业。炉管选用大口径的高纯石英材质，既可通气氛也可抽真空使用，采用智能PID模糊控制、多点测温保证炉膛内温度的均匀性。
设备特点
1、温场均匀，恒温区长度及精度：300～1250mm 800~1200℃±1℃
2、具有强大的软件功能，PRFT-101EP嵌入式操作系统，用户可以方便地修改工艺控制参数，并可随时显示各种工艺状态；配有故障自诊断软件；
3、程序可以实现手/自动工作，在停电或中途停机后，再次启动可以根据工艺手动升温，节省工艺时间；
4、具有多种工艺管路，可供用户方便选择；
5、冷端检测环境温度进行温度补偿，避免环境温度变化，对炉膛温度产生影响，避免层间干扰；
6、可存储多组PID参数供系统运行调用功能，具有多点温度补偿
7、气体流量采用数字化精确控制，采用模拟信号闭环控制，强弱电分开，各种数据交互采用标准总线，提高抗干扰能力，保证数据安全；气体打开具有缓启动功能；
8、具有多种报警功能及安全保护功能；
9、恒温区自动调整，串级控制，可准确控制反应管的实际工艺温度；
10、压力自动调整技术，将压力参数引入晶体硅氧化工艺，有效减小了尾部排风对工艺的干扰，减小由排风引起的工艺波动。
加热腔体
采用优质加热丝：KANTHAL及HRE
绝热材料：晶体纤维等
绝缘子：高纯刚玉，间距依据温场调节
端口过渡环：氧化铝纤维真空成型。
温区：3段、4段、5段、6段
真空密封系统
设备参数
型号：TP1200-250T3均温炉氧化扩散
可配工艺管外径：炉管外径152mm 适用于3＂；炉管外径252mm 适用于6＂；炉管外径300mm 适用于8＂
温度控制范围：300~1150 ℃
恒温区长度及精度：300～1250mm（依客户要求定） 300~800 ℃±1.5℃, 800~1100 ℃±1℃
可控升降温速率：升温速率：≦15℃/min 降温速率≦5℃/min
加热区个数：3区，4区，5区，6区（依客户要求定）
送料方式：手动送料
冷却系统：水冷2-4Kgf/cm2，8L/min；＋上接排风冷≈25m3/min；
